Evolution de la rugosité pour différents matériaux
(mesures AFM)
poli optique initial
après érosion ionique
3,06Å RMS
ZERODUR
3,09Å RMS
2,80 Å RMS
SILICE
1,16Å RMS
1,30Å RMS
GERMANIUM
1,66Å RMS
2,20 Å RMS
SILICIUM
2,03Å RMS
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Evolution de la rugosité pour différents matériaux (mesures AFM) |
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poli optique initial |
après érosion ionique |
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3,06Å RMS |
ZERODUR |
3,09Å RMS |
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2,80 Å RMS |
SILICE |
1,16Å RMS |
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1,30Å RMS |
GERMANIUM |
1,66Å RMS |
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2,20 Å RMS |
SILICIUM |
2,03Å RMS |
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